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無掩膜(mo)數(shu)(shu)字光刻(ke)機(ji) MCML-120A采(cai)用數(shu)(shu)字微鏡 (DMD) 的無掩膜(mo)掃(sao)描(miao)式光刻(ke)機(ji)，365nm波長 直(zhi)接從數(shu)(shu)字圖(tu)形生成(cheng)光刻(ke)圖(tu)案，免去(qu)制作掩模(mo)板的中間過程，支(zhi)持直(zhi)接讀取(qu)GDSII和(he)BMP文件 全自(zi)動(dong)化的對焦和(he)套刻(ke)，易(yi)于使用

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